ALVOS DE SPUTTERING
Fornecemos uma grande variedade de alvos de sputtering, sejam eles cerâmicos, metálicos ou ligas. Os alvos são produzidos através das mais avançadas técnicas de fabricação, como prensagem a quente sob vácuo, prensagem isostática a quente ou a frio e fundição sob vácuo. A depender do tipo de material, nossa equipe avalia a técnica mais apropriada a ser empregada.
A pureza dos alvos é assegurada através da técnica de espectrometria de massa com plasma indutivamente acoplado (ICP-MS), a qual mede a quantidade de impurezas metálicas (e muitas não metálicas) presentes. Já a densidade é medida através do método de Archimedes por meio de um densímetro eletrônico.
De acordo com a nossa capacidade de produção, podemos fornecer alvos com as seguintes características:
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Pureza: 99,9% (3N) - 99,9995% (5N5)
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Formato redondo: diâmetros padrões de 1" a 8” (acima de 8" também são possíveis)
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Formato retangular: disponíveis em diversas dimensões
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Espessuras: diversas espessuras são possíveis*
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Colados em bases de cobre (backing plate): sim ou não**
* Espessuras muito finas dificultam o processo de fabricação.
** Muitos alvos são frágeis e possuem baixa condutividade térmica. Dessa forma, recomendamos fortemente o processo de colagem desses alvos sobre bases cobre, a fim de se evitar rachaduras devido ao choque térmico e/ou processo de instalação. Oferecemos esse serviço de colagem utilizando como cola o índio metálico ou o elastômero. Possuímos bases de cobre livre de oxigênio (OFHC).
Veja a seguir, uma relação com os diversos tipos de alvos que podemos fornecer (outros alvos podem ser solicitados):
1) METAIS
Al, Sb, Bi, B, Cd, C, Cr, Co, Cu, Ge, C, Hf, In, Ir, Fe, Mg, Mn, Mo, Ni, Nb, Pd, Re, Ru, Se, Si, Ta, Tb, Tm, Sn, Ti, W, V, Zn, Zr
2) METAIS PRECIOSOS
Ag, Au, Pt
3) TERRAS RARAS
Sc, Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu
4) LIGAS
AlCu, AlCr, AlMg, AlSi, AlSiCu, AlAg, AlV, CaNiCrFe, CaNiCrFeMoMn, CeGd, CeSm, CrSi, CoCr, CoCrMo, CoFe, CoFeB, CoNi, CoNiCr, CoPt, CoNbZr, CoTaZr, CoZr, CrV, CrB, CrSi, CrCu, CuCo, CuGa, CuIn, CuNi, CoNiPt, CuZr, DyFe, DyFeCo, FeB, FeC, FeMn, GaAs, GdFe, GdFeCo, HfFe, InAs, InSn, IrMn, IrRe, MoSi, NiAl, NiCr, NiCrSi, NdDyFeCo, NiFe, NiMn, NiNbTi, NiTi, NiV, SmCo, AgCu, AgSn, TaAl, TbDyFe, TbFe, TbFeCo, TbGdFeCo, TiAl, TiNi, TiCr, WRe, WTi, WCu, ZrAl, ZrCu, ZrFe, ZrNb, ZrNi, ZrTi, ZrY, ZnAl, ZnMg
5) BORETOS
Cr2B, CrB, CrB2, Cr5B3, FeB, HfB2, LaB6, Mo2B, Mo2B5, NbB, NbB2, TaB, TaB2, TiB2, W2B, WB, VB, VB2, ZrB2
6) CARBETOS
B4C, Cr3C2, HfC, Mo2C, NbC, SiC, TaC, TiC, WC, W2C, VC, ZrC
7) FLUORETOS
AlF3, BaF3, CdF2, CaF2, CeF3, DyF3, ErF3, HfF4, KF, LaF3, PbF2, LiF, PrF3, MgF2, NdF3, ReF3, SmF3, NaF, Na3AlF6, SrF2, ThF4, YF3, YbF3
8) NITRETOS
AlN, BN, GaN, HfN, NbN, Si3N4, TaN, TiN, VN, ZrN
9) ÓXIDOS
Al2O3, Sb2O3, ATO, BaTiO3, Bi2O3, CeO2, CuO, Cr2O3, Dy2O3, Er2O3, Eu2O3, Gd2O3, Ga2O3, GeO2, HfO2, Ho2O3, In2O3, ITO, Fe2O3, Fe3O4, La2O3, PbTiO3, PbZrO3, LiNbO3, Lu3Fe5O12, Lu2O3, MgO, MoO3, Nd2O3, Pr6O11, Pr2O3, Sm2O3, Sc2O3, SiO2, SiO, SrTiO3, SrZrO3, Ta2O5, Tb4O7, TeO2, ThO2, Tm2O3, TiO, TiO2, TiO2:Pr, Ti3O5, Ti2O3, SnO2, SnO, WO3, V2O5, YAG, Y3Al5O12, Yb2O3, Y2O3, ZnO, ZnO:Al, ZrO2 (estabilizada)
10) SELENETOS
Bi2Se3, CdSe, In2Se3, PbSe, MoSe2, NbSe2, TaSe2, WSe2, ZnSe
11) SILICETOS
Cr3Si, CrSi2, CoSi2, HfSi2, MoSi2, NbSi2, TaSi2, Ta5Si3, TiSi2, Ti5Si3, WSi2, V3Si, VSi2, ZrSi2
12) SULFETOS
Sb2S3, As2S3, CdS, FeS, PbS, MoS2, NbS2, TaS2, WS2, ZnS
13) TELURETOS
CdTe, PbTe, MoTe2, NbTe2, TaTe2, WTe2, ZnTe